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[반도체실무과정] 8대공정 ETCHING

교육 과정 사진
강좌구성:
  
11시간 (10강)
수료증:
  
발급 가능
수료기준:
  
진도율 80%이상, 시험 2회
수강후기 (1)
과정정보
커리큘럼

수강후기

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기본순
  • 일반
    s******42024-02-18
    유익한 정보들이 많았습니다

    과정소개

    - TP 1개의 Layout → Si에 구현시 형상 → Tilt 구조로 설명합니다.

    - 식각 공정의 목적과 방법을 소개합니다, 동방성, 이방성 소개와 건식 식각, 습식식각, 식각시 나타나는 불량을 소개합니다.

    - 플라즈마, 쉬즈가 무엇인지, 플라즈마의 특징과 종류/ 식각원리/ 식각의 종류 등을 설명합니다.


    *해당 과정은 인정신청 유효기간 만료로 2024.12.01.(일) 개강반부터 NCS 수료증 발급이 되지 않사오니, 양해 부탁드립니다.
    *12월까지 운영 후 폐강될 예정이오니, 수강에 참고 부탁드립니다.

    학습대상

    - 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자 

    학습목표

    - Etching 공정의 개요와 용어를 설명할 수 있다.

    - 플라즈마의 생성과 특징을 설명할 수 있다.

    - 다양한 Etching 공정의 장점과 단점을 숙지하고 원리를 설명할 수 있다.​ 

    교수소개

    엄 중 섭

     

    [경력]

    - 현)한국반도체기술교육원​

     

    - 삼성전자주식회사/SOC PIE그룹(E6 수석)​

학습내용

차시내용
1차시Etch 과정 개요와 Transister/CMOS Vertical 구조
2차시Etch 공정의 정의와 용어
3차시Etch 공정의 목적과 플라즈마의 개념
4차시플라즈마의 생성과 특징
5차시플라즈마의 종류와 응용, Dry Etch의 원리
6차시Dry 식각 방식의 이해와 요구사항
7차시Dry Etch 장비의 구조
8차시건식 식각 공정
9차시습식 식각 공정
10차시Etch 불량 사례와 Etch 엔지니어 실무

수료기준

수료기준
총 진도율중간평가최종평가과제
80% 이상평가비율 10% 반영평가비율 90% 반영-
반영된 평가 합산 60 이상