전반적인 양산 기술에 대해 이해 할 수 있었습니다. 특히 반도체 설비 관련 여러 장비에 대해 설명해주어 도움이 많이 되었습니다.
- 산화 공정, CVD, PVD, Etching등에 대하여 학습내용입니다.
*해당 과정은 인정신청 유효기간 만료로 2024.12.01.(일) 개강반부터 NCS 수료증 발급이 되지 않사오니, 양해 부탁드립니다.
*12월까지 운영 후 폐강될 예정이오니, 수강에 참고 부탁드립니다.
- 반도체 제조 장비 관련 직무 종사자
- 반도체 공정기초에 대해 설명할 수 있다.
- 반도체 양산설비에 대해 설명할 수 있다.
김 준 성
[경력]
- 현)한국반도체기술교육원
- 삼성전자 주식회사/공정기술기룹(기술원)
차시 | 내용 |
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1차시 | 반도체 Fab과 Utility |
2차시 | 산화공정 |
3차시 | CVD |
4차시 | PECVD |
5차시 | LPCVD |
6차시 | APCVD와 HDPCVD |
7차시 | MOCVD와 ALD |
8차시 | PVD |
9차시 | Photo Lithography |
10차시 | Etching |
11차시 | Wet Etching과 반도체 설비 동향 |
수료기준 | ||||
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총 진도율 | 중간평가 | 최종평가 | 과제 | |
80% 이상 | 평가비율 10% 반영 | 평가비율 90% 반영 | - | |
반영된 평가 합산 60점 이상 |